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北京和崎精密科技申请晶圆搬运机器人及晶圆存储器专利，提高晶圆制备系统设备集成度:机器人集成
金融界2025年3月19日消息，国家知识产权局信息显示，北京和崎精密科技有限公司申请一项名为“一种晶圆搬运机器人及晶圆存储器”的专利，公开号CN119626953A，申请日期为2024年12月机器
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金融界2025年3月19日消息，国家知识产权局信息显示，北京和崎精密科技有限公司申请一项名为“一种晶圆搬运机器人及晶圆存储器”的专利，公开号CN119626953A，申请日期为2024年12月机器